真空ポンプオイル使用上の注意：
① 真空ポンプオイルは密閉状態で保管した場合、最長 3 年間の保存期間があります。
② 油製品は乾燥した涼しい場所に保管してください。
③ ドラム缶を開封して使用した場合は、残ったオイルはキャップでしっかりと密封してください。また、残った部分はできるだけ早くお召し上がりください。他の粉末または液体の不純物と混合することは絶対に避けてください。
④ 周囲の環境や道具は清潔に保ってください。工具を溶剤で洗浄した場合は、使用前に完全に乾燥させる必要があります。
⑤ 真空ポンプの構造精度や使用環境に応じて、オイルのグレードや品質を選択してください。
真空ポンプを選択する際の考慮事項:
1. 真空ポンプの動作中に発生する振動がプロセスや周囲の環境に影響を与えるかどうかを評価します。プロセスがそのような振動に耐えられない場合は、振動のないポンプを選択するか、適切な振動防止対策を講じる必要があります。-
2. 排気されるガスの組成を理解します。-特に、凝縮性蒸気、粒子状塵、腐食性物質が含まれているかどうかを理解します。真空ポンプを選択するときは、特定のガスの処理に特に適したポンプを選択するために、ガスの組成を知ることが不可欠です。ガスに蒸気、粒子、腐食性元素が含まれている場合は、ポンプの入口ラインに-凝縮器や集塵機などの補助装置-を設置することを検討してください。
3. 真空ポンプは、その動作圧力で、真空装置のプロセスによって生成されるガスの全量を排気できなければなりません。
4. 真空ポンプの適切な組み合わせを選択します。真空ポンプは選択的な排気特性を示すことが多いため、単一のポンプでは必要な排気仕様を満たすには不十分な場合があります。このような場合、複数のポンプを組み合わせて相互に補完し、集合的に要件を満たす必要があります。たとえば、チタンサブリメーションポンプは水素のポンピング速度が非常に速いですが、ヘリウムをポンピングすることはできません。逆に、三極-型スパッタ イオン ポンプ（または二極-型非対称カソード スパッタ イオン ポンプ）は、アルゴンに対して一定の排気速度を持っています。この2種類を組み合わせることで、より優れた真空度を実現できる真空システムです。さらに、一部の真空ポンプは大気圧では直接動作できず、予備真空（プレ-）が必要です。他のものは出口圧力が大気圧より低いため、補助ポンプ (前方ポンプ) が必要です。-。したがって、望ましい結果を達成するには、多くの場合、ポンプを組み合わせて使用する必要があります。
5. 油汚染に関する真空装置の特定の要件を考慮してください。機器がオイルフリー環境を厳密に要求する場合は、水環ポンプ、モレキュラーシーブ吸着ポンプ、スパッタイオンポンプ、極低温ポンプなど、さまざまなタイプのオイルフリーポンプを選択する必要があります。{{2}要件がそれほど厳しくない場合は、油封式ポンプを選択することもできます。- -コールド トラップ、バッフル、またはオイル トラップを追加するなど、油による汚染を防止する手段を組み込むことによっても、-きれいな真空の要件を満たすことができます。